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刻蚀机和光刻机的区别
刻蚀机和光刻机的区别:难易度、原理、工艺操作不同。1、难易度:光刻机难度大,刻蚀机难度小;2、原理:光刻机把图案印上去,刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案/无图的部分,留下剩余的部分。3、工艺操作不同:光刻机:利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将掩膜版上的电路图形传递到单晶的表面或介质层上,形成有效的图形窗口或功能图形。由于在晶圆的表面上,电路设计图案直接由光刻技术决定,因此光刻工艺也是…- 16
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光刻胶所示什么意思(什么是光刻胶)
1、光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。2、光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中,涂层曝光、显影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下来,该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来,而未曝光被溶解,该涂层材料为负性光刻胶。- 33
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